碳碳坩埚
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍(可选)
主要性能:密度≥1.45g/cm³,抗折强度≥120Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,支撑石英坩埚
碳碳导流筒
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍(可选)
主要性能:密度≥1.35g/cm³,抗折强度≥100Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,作为气流场、热流场的引流部件
碳碳上保温筒
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折强度≥100Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,作为保温材料
碳碳支撑环
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折强度≥100Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,作为保温筒/导流筒的连接结构
碳碳埚托
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折强度≥100Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,配合碳碳坩埚支撑石英坩埚
碳碳托杆
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍
主要性能:密度≥1.3g/cm³,抗折强度≥100Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,作为碳碳埚旋顶支撑
碳碳主加热器
产品尺寸:32-42寸
生产工艺:化学气相沉积+液相浸渍
主要性能:密度≥1.7g/cm³,抗折强度≥150Mpa
产品用途:用于单晶硅炉热场,通电后发热,作为主加热元件
石英坩埚
产品尺寸:33-42寸
生产工艺:电弧法熔制
主要性能:高纯度、耐温性强、化学稳定性好、保温性好。在1400℃±5℃下保温600小时,其析晶层的平均厚度<1mm
产品用途:拉制大直径单晶硅棒的消耗性器皿,用于盛装熔融硅